バックグラインド関連 : ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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BG フィルム貼付装置FAQ

BG フィルム貼付装置について

Q1気泡は入るのか
Q2ウェハサイズは
Q3フィルムカットの形状は
Q4フィルムカット精度は
Q5バックフィルムの処理は

BG フィルム貼付装置について

Q1: 気泡は入るのか
A1: ローラーに均一な圧力が加わるため、気泡が入ることなく貼付が可能です。

Q2: ウェハサイズは
A2: 6 インチまで対応可能な Model 3200 と、8 インチまで対応可能な Model 3250 があります。

Q3: フィルムカットの形状は
A3: ウェハのエッジにそってカットされます。オリフラ部分もエッジに沿ってカット可能です。

Q4: フィルムカット精度は
A4: ウェハのエッジに沿って 130μ以内にカットできます。

Q5: バックフィルムの処理は
A5: バックフィルムの巻き取り機構が付属されています。