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製品FAQ&活用事例

バックグラインド関連

BG フィルム貼付装置について

BG フィルム貼付装置について

Q1
気泡は入るのか
A1
ローラーに均一な圧力が加わるため、気泡が入ることなく貼付が可能です。
Q2
ウェハサイズは
A2
6 インチまで対応可能な Model 3200 と、8 インチまで対応可能な Model 3250 があります。
Q3
フィルムカットの形状は
A3
ウェハのエッジにそってカットされます。オリフラ部分もエッジに沿ってカット可能です。
Q4
フィルムカット精度は
A4
ウェハのエッジに沿って 130μ以内にカットできます。
Q5
バックフィルムの処理は
A5
バックフィルムの巻き取り機構が付属されています。

 

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