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製品FAQ&活用事例

超音波ドライクリーナー

超音波ドライクリーナーについて

超音波ドライクリーナーについて

Q1
接触式のクリーナーの取り扱いはありますか?
A1
ございません。
確かに、こびりつきや油汚れなどは、接触式やケミカルウェット洗浄洗浄が有効と考えますが、CR 内に投入され初期洗浄された基材では、自重・静電気での付着物がほとんどで、よりクリーン化されたプロセス技術では接触式は不必要と考えますので、非接触式でのクリーン化技術を開発しております。
Q2
超音波はどのように発生させているのですか?
A2
音波とは人間の耳に聞こえる音 ( 20 kHz 未満の音波) から聞こえない音 ( 20 kHz 以上の音波) までありますが、この聞こえない音 (超音波) の帯域波長振動を利用し、対象物 (異物) に共振を与え剥離します。
発生のさせ方は、圧電素子を利用したウェット洗浄機のような電気によるものではなく、気体の流体力学上、エアー吐出口の形状を工夫することで発生させ、有効活用させております。
たとえば、ハーモニカや犬笛でお考えください。
ハーモニカは、内部に取り付けられた、リード (薄い金属板)の振動により音階をきざみ、縦笛は 管の中を流れるエアーと管の側面に開けた穴の位置により共振音階を変え (共振周波変換:約 200 Hz ~ 10,000 Hz) 音として発生させます。
その意味からは、弊社の超音波発生の原理としては、この縦笛をさらに発展させた犬笛 (狩猟などの際に、猟犬を呼ぶための笛)の原理を利用しています。
犬は、人と違い約 30 kHz 近くの音まで聞き分けられますが、この犬笛は、管の一部を狭くし、管の通路の長さを変えることにより高周波発生を行うよう作られた笛です。管の内部のエアー通路を一部狭くし、管の内部にてキャビテイション現象を発生させるこの犬笛が、弊社の超音波エアー発生の原理となっています。
このように、音波/超音波の発生方法は、目的に応じ「音」の利用を考える延長上に位置しており、"除塵"という目的に「音」 (超音波) の利用を追及しております。
Q3
どのくらいの大きさの異物が取れますか?
A3
異物の付着はいろいろな状態があり、一概に数値ではお答えできません。
いかに超音波であっても、液体のキャビテイションとは違い、空気のキャビテイションのパワーは、それほど強い力ではないため、(一般的には、気体のキャビテイションは液体キャビテイションの 1 / 100 程度と言われています。)
油着・こびりつきなど共振を与えても剥離しない付着状態もあります。
しかし逆に、このあまり強くない気体キャビテイション利用のため、対象物表面にコーティングされたものがあっても、この膜にダメージを与えるといったことはありません。
自重・静電気での付着異物はミクロン単位で除塵出来ても、油着・こびりつきでは数十ミクロン単位であっても除塵出来ないのです。
その効果は、弊社板橋工場内にあるクリーンルーム (クラス100) の実験設備で確認ください。
Q4
除電は必要ですか?
A4
非接触式超音波クリーナーをご活用していただく為には、クリーナー通過前に製品帯電値を 200V 以下にしていただくことで、効果を最大限に発揮させることが可能です。
Q5
実験できますか?
A5
弊社板橋工場内にある【クラス100・23℃・45~50%】のクリーンルームで実験ができます。
予約が必要の為、1 週間から 10 日前に連絡願います。
Q6
価格はいくらですか?
A6
お見積価格は完全カスタムメイドで、仕様内容により異なります。
詳細打合せの上、最適な仕様にてご提示いたします。
Q7
アフターフォロー・メンテナンス体制はどうですか?
A7
国内ではヒューグル3ヶ所 (東京、大阪、熊本) 、協力会社サービスステーション多数
海外では韓国ヒューグル (ソウル) 、台湾エバーテック (代理店:台北、新竹、台中、台南) 、中国エバーテック(代理店:北京、蘇州、深圳、南京)と安心してご使用いただけます。

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活用事例

ウェブクリーナー

【各種フィルム/紙】
コーティング前、ラミネート前、カレンダー前、スリッター後、サンドブラスト後、印刷前

基板クリーナー

【LCD 基板】
レジスト膜付け前、露光前、CVD 前、スパッター後、ドライエッチング前、PI 印刷前、ラビング前後、
スペーサー散布前、シール印刷後 (ODF 前) 、張り合わせ前、ガラス分断後

【PDP 基板】
リブ印刷前後、スクリーン印刷前、色素塗布前

【有機 EL 基板】
CR 投入時

【LCOS (ガラス/ウェハ) 】
ラビング前後

バキュームクリーナー

【LCD 基板】
スペーサー散布時の凝集物発生時

スポットクリーナー

【LCD 基板】
小型基板
タッチパネル

【光ディスク】
CD
DVD
Blu-ray
ゲーム用

【小型部品】
水晶振動子
セルの TAB 付けリード部
シャフト

【フィルム】
幅狭フィルム
スリッター部
フィルム端部の電極
フィルム基板

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