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製品FAQ&活用事例

ダイシング関連

ダイシングフィルムについて

ウェハフィルムマウンティング装置について

ウェハ拡張装置について

ウェハ劈開装置について

UV 照射装置について

ダイシングフィルムについて

Q1
製品の種類は
A1
感圧タイプは PVC ノンシリコン / PVC / PET、UV タイプは PVC / PO / PET を各種取り揃えています。
また、粘着層未使用の PVC タイプもあります。
Q2
サンプルはありますか
A2
ロールタイプ、シートタイプ (セパレータ付き) を各種取り揃えています。
Q3
フィルムの拡張はできますか
A3
特に PVC フィルムは PO フィルムに比べ伸び、ダイシング後のウェハを拡張する場合、縦横比もほぼ同等となります。
Q4
粘着力の測定方法は
A4
JIS Z-0237 に準じ、粘着剤と被着体を張り合わせ、180° 方向に折り返し 300 mm / minの速さで引き剥がしながら測定します。
Q5
伸び率の測定方法は
A5
JIS Z-0237 に準じ、つかみ間隔 100 mm でピール速度 200 mm / min にて測定します。

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ウェハフィルムマウンティング装置について

Q6
ウェハサイズは
A6
6 インチまで対応可能な HS-7600 と、8 インチまで対応可能な HS-7800 があります。
Q7
気泡は入るか
A7
ステージショックアブソーバ機構により、気泡が入ることなく均一な貼付が可能です。
Q8
ウェハパターン面のダメージは
A8
ステージ面がテフロンでコーティングされており、パターンのダメージを防ぎます。
また、パターン面非接触のノンコンタクトタイプもあります。
Q9
ステージの加温できるか
A9
ステージ温度は、1 ℃ 単位 (最高 100 ℃) の温度調整機構が付いています。
Q10
バックフィルムの処理は
A10
バックフィルムの巻き取り機構が付属されています。

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ウェハ拡張装置について

Q11
ステージの駆動方式は
A11
モーター駆動の採用により 1 mm 単位でのストローク設定が可能です。
また、上昇スピードの可変がボリュームで容易にできます。
Q12
ダイシングフレームのサイズは
A12
6 インチフレームまで対応可能な HS-1810-6 と、8 インチフレームまで対応可能な HS-1810-8 があります。
Q13
拡張リングのサイズは
A13
外径 120 mm (内径 110 mm) から外径 245 mm (内径 235 mm) まで各種取り揃えています。
また、装置本体はグリップリング仕様も製作可能です。
Q14
ステージの加温はできるか
A14
ステージ温度は、1 ℃ 単位 (最高 100 ℃) の温度調整機構が付いています。
Q15
拡張後のフィルムカットは
A15
拡張後に CUTTER ボタンを押すと、自動でフィルムをカットします。

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ウェハ劈開装置について

Q16
操作性は
A16
スクライバーとブレーカーが一体となった省スペース構造で、ワークを他のステージに移載する手間がありません。また、オートフォーカスにより位置を自動認識します。
Q17
対応できる材質は
A17
シリコン、ガラス、サファイヤ、セラミック等のウェハに対応可能です。
Q18
ウェハサイズは
A18
4 インチまで対応の GST 100 と、6 インチまで対応の GST 150 があります。
Q19
スクライビングのメリットは
A19
ウェハ表面を罫書くため、スピードアップが可能です。また、ダイングソーのように冷却水を必要としないため、コストパフォーマンスの面でも貢献します。
Q20
最小チップサイズは
A20
材質によって異なりますが、最小 200μのブレーキングが可能です。

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UV 照射装置について

Q21
対応ダイシングフレームは
A21
拡散、CVD、アニール、スパッター、レジストベーク等、加熱する用途で対応可能です。
Q22
ランプ仕様は
A22
波長 352 nm のブラックライト採用により、安価でランニングコストも少なくなります。
Q23
照射方式は
A23
タッチパネルで、連続照射及び間欠照射の選択が可能。照射方式もタイマー式及び積算光量方式を選択できます。
Q24
UV照度は
A24
UV センサを搭載し、UV 照度をリアルタイムで表示します。
Q25
異常警報は
A25
装置内部の温度が 60 ℃ 前後になった場合、または照度不足の時に、自動的に UV ランプが切れ、ブザーが鳴り異常画面が表示されます。

 

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