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製品FAQ&活用事例

レーザダイオード/バー・プロセス対応

レーザダイオード/バー・プロセス対応について

レーザダイオード/バー・プロセス対応

Q1
対応プロセスは
A1
バーのスタッキング゙/アンスタッキング゙、ファセット及びP/Nサイドインスペクション、LIV / OSA テストに対応可能です。
Q2
ファセットインスペクションの最大倍率は
A2
7400 倍です。
Q3
P / N サイドインスペクションの最大倍率は
A3
300 倍です。
Q4
装置構成は
A4
お客様のニーズに合わせた組み合わせが可能です。
Q5
Nomarski スコープの使用は可能ですか
A5
オプションにて対応可能です。

 

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