「製品紹介」更新用 tag:www.hugle.co.jp,2009-04-24:/products//2 2012-01-23T07:55:03Z 「製品紹介」 Movable Type Commercial 4.24-ja インラインエアーガン　MODEL 3100 tag:www.hugle.co.jp,2012:/products//2.331 2012-01-23T02:11:21Z 2012-01-23T07:55:03Z hugle      
入力電圧 DC24V 　　
出力電圧2.2kV～
 入力電流 70mA MAX
　入力気体クリーンドライエア、または窒素 
 使用圧力範囲0.05 ~ 03Mpa
 警報出力クリーニング、高圧異常 
 材質本体：ABS　　放電針：タングステン 
 外形寸法167.2mm(W)×25.5mm(D)×26.5 mm(H) 
 重量
0.75kg 

 
 表示
 
  
※アラーム警報稼働時には自動で電源を遮断します。



 使用例
※先端ノズルにΦ6mmのチューブを接続する事で、局所的な除電ができます。



 メンテナンス
※放電針の交換や清掃時は、本体背面部から放電針が取り外す事ができるため非常に容易です。
メンテナンス時に、ノズルや本体を取り外す必要はありません。

 


3100外観図.pdf

]]> カセット・ボックス洗浄システム CRD - 4300 tag:www.hugle.co.jp,2011:/products//2.327 2011-10-26T04:54:47Z 2011-10-26T05:12:39Z 処理能力 ... hugle 処理能力

Capacity ウェハカセット

Wafer Cassette 8 インチ用
6 インチ用

8inch
6inch 24～
60 - 36 個 / 時間

24pcs or less/hour
60-36pcs/hour 576～
(カセットサイズによって
変わります)
1440 - 864 個 / 日

576pcs or less/day
1440-864pcs/day キャリアボックス
(カセット 1 個用)
Career BOX
(For one cassette) 8 インチ用
6 インチ用

8inch
6inch 6～
10 - 6 個 (組) /
時間

6pcs or less/hour
10-6pcs/hour 144～
240 - 144 個 (組) / 日

144pcs or less/day
240-144pcs/day ※サイクルタイム： 6 ～ 10 分
※Cycle Time 6-10min. 洗浄能力

Removable
contamination ●ダストの洗浄、油脂類の洗浄

Particle (dust) and general Oily materials
(except special chemical oil) 除電効果

Electro Static
Removal ●静電気を 1 kV 以下に除去

Decrease it dowm to 1kv or less CDA
(クリーンドライエアー
Clean ｄｒｙ air) N2

CDA or Nitrogen
●使用量： 1,600 ℓ/分　●使用圧力： 0.5 Mpa - 0.6 Mpa
●接続：外径 3 / 4 インチパイプ (3 / 4 インチスェージロック) - 乾燥用
3 / 8 インチパイプ (1 / 2 インチスェージロック) - 駆動用
Consumption: 1,600 ℓ/min
Pressure in process 0.5Mpa-0.6Mpa
Connecction: 3/4"pipe (3/4"Swagelok or its compatible fittings) -For Drying
3/8"pipe (1/2"Swagelok or its compatible fittings) -For air operation
純水

DI Water ●使用量：MAX. 70 ℓ / サイクル
●供給流量： 10 ℓ ～
●供給圧力： 1.0 ～ 1.5 Kg / c㎡
●接続：外径 1 / 2 インチパイプ (1 / 2 インチスェージロック)

Consumption: Max70 ℓ/cycle
Supply:10ℓor more/min
Connection:1/2"pipe (1/2"Swagelok or its compatible fittings) 洗剤

Surfactant 洗剤タンク 3 ガロン (約 11) ですが流量はご使用になる洗剤により異なります。

Consumption differs by surfactant 電源

Power 200 V 、6 ｋW 、50 / 60 Hz

200V,　6ｋW,　50/60Hz 排気

Exhaust ●排気量： 2.5 N㎥ / min
●静圧： 25 mm Aq ～ 580 mm Aq
●接続：外径 48 mmΦPV パイプ　※付属ブロワーにて排気

Required consumption:2.5N㎥/min
When not drying process:25mmAq-580mmAq
Connection:Dia 48mmΦPVC pipe 排水

Drain ●接続：外径 48 mmΦPVC パイプ

Connection:Dia 48mmΦPVC pipe 寸法

Dimension 2,680 (W) ×1,050 (D) ×1,145 (H) mm (MAIN) 610 (W) ×1,010 (D) ×1,150 (H) mm (BLOWER) 450 (W) ×　750 (D) ×1,150 (H) mm (TANK) 重量
Weight 500 Kｇ

 


※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

製品紹介ビデオ

]]> DC 式イオン送風器 MODEL 1900 tag:www.hugle.co.jp,2010:/products//2.307 2010-10-01T02:51:38Z 2012-01-23T07:16:09Z hugle   
入力電圧 DC24V  (AC100V ~ AC240V  50/60Hz用アダプター付属)
       (電源コード：　AC100V ~ AC120V用付属)　　
 入力電流 0.85A MAX
 風量0.89㎥/min ~ 3.68㎥/min 
 表示5連LEDバーグラフ、及び異常警告LED 
 イオンバランス±10V 
 警報出力クリーニング、高圧異常 
 オソン発生量0.001 PPM以下 
 外形寸法164mm(W)×63mm(D)×181.5 mm(H) 
 吹出口寸法φ115mm 
 重量0.75kg 

 表示
フロントパネルに搭載されたセンサーがイオン発生状況を感知し、自己診断を行います。
常に安定したイオンバランスになるようコントロールします。
 メンテナンス

放電針クリーニングブラシの搭載により日々のメンテナンスが簡単になりました。


 製品紹介ビデオ
 外観図

M1900.pdf]]> AC式イオン送風器　MODEL 20/20S tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.23 2010-04-19T10:42:36Z 2011-12-16T01:40:11Z hugle
入力電圧AC 100 V -115 V     50 / 60 Hz
AC 200 V -230 V　　50 / 60 Hz（生産終了しました）
入力電流0.42 A
風量4.3 ～ 1.9 / min (50Hz)
オゾン量0.003 ppm (吹き出し口 10 mm にて測定)
使用周囲温度5 ～ 35 ℃
使用周囲湿度35 ～ 65 % RH
外形寸法414 (W) ×295 (D) ×237 (H) mm
重量8.0 kg

 外観図
2020S外観図.pdf


※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。 ]]> DC式イオン送風器 "i Blower"　MODEL 1400R tag:www.hugle.co.jp,2010:/products//2.12 2010-04-18T02:03:12Z 2010-10-05T00:33:25Z 入力電圧 ... hugle
入力電圧 DC 24 V (AC 90-264 V 　50 / 60 Hz 用アダプタ付属)
入力電流 0.75 A MAX
最大風量 3.2 / min　連続可変機能付
使用周囲温度 5 ℃ ～ 40 ℃
使用周囲湿度 35 % RH ～ 65 % RH (結露なきこと)
付属品 AC アダプタ　電源コード (AC 100 V - AC 120 V 用)


 外観図

※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。]]> イオン風除電器 MODEL 3200 tag:www.hugle.co.jp,2010:/products//2.284 2010-02-23T00:10:08Z 2011-12-16T01:42:28Z hugle ]]> 全自動FOUP洗浄システム　SORA（UPC-12500) tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.279 2009-12-18T05:51:00Z 2011-10-26T05:11:57Z 寸法 ... hugle
寸法 　2,200(W) × 3,250(L) × 2,500(H) mm 　
重量 　3,800 kg 　
電源 　3φ, 200V±10V, 100A 　
純水 　15 LPM 1/2"
CDA-1 　4,000 LPM, 0.7 ± 0.05 MPa 1"
CDA-2 　1,000 LPM, 0.7 ± 0.05 MPa 1/2"
バキューム 　2 LPM, -45 ～ -100 kPa 1/4"
排水-1 　15 LPM 40A
排水-2 　15 LPM 40A
排気-1 　2,000 LPM 20A
排気-2 　2,500 LPM (2系統) 80A (2系統)
ドレイン 　 Rc 1/2" (2系統)

※ この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

 製品紹介ビデオ

]]> フレキシブルＡＣ式イオナイザー　MODEL 4200 tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.261 2009-08-03T01:15:12Z 2011-12-16T01:41:27Z hugle
項目バー長さ（mm）
 2080 2480 2880 3280
名称 フレキシブルAC式イオナイザー
型式 MODEL 4200
イオン発生方式 フレキシブルAC式
周波数設定 33Hz、 20Hz、 10Hz、 8Hz、 5Hz、 3Hz、 1Hz、 0.3Hz、の８段階
出力高電圧 ±7500V MAX
入力電圧 DC24V ±10％ リップル（P-P） 10％以下
入力電流 400mA MAX（フルオプション時）
電源コネクタ 10Pモジュラータイプ（本体に2箇所配置）
設置距離 50～2000mm
気体導入口 6φワンタッチ継手をバー本体両側に配置
気体圧力 0.5MPa MAX
材質 放電バー：ABS樹脂
 対抗電極：ステンレス
 放電針：タングステンまたはポリシリコン
主な機能
・イオンバランスコントロール
・クリーニング表示及び信号出力
・アラーム表示及び信号出力
・除電バー電源ON/OFF出力信号		・表面電位センサ接続可
・イオナイザーモニタリングシステム接続可
・赤外線リモコンによる運転
使用環境 温度：10℃～40℃　湿度：35％～65％RH（結露なきこと）
重量（Kg） 2.12.6 3.1 3.6 
放電電極数（本）25303540

]]> フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.42 2009-08-02T14:41:01Z 2010-12-13T04:25:25Z 製品概要●フレキシブルAC式の採用により近距離から遠距離までカバー●マイコン制御... hugle 製品概要
●フレキシブルAC式の採用により近距離から遠距離までカバー
●マイコン制御によるイオンバランスをオートコントロール
●見易いLEDパネルを搭載し簡単操作が可能
●針先にゴミを寄せ付けにくいローメンテナンス構造

オートコントロール：
マイコン制御によるイオンバランスオートコントロール機能

バー連結システム：
バーの連結により最大幅3000㎜まで除電可能
オートコントロールバー連結システム
見易いLEDパネル＝簡単操作：
標準画面
標準画面
（イオンバランス表示）		バーナンバー表示画面
バーナンバー表示画面
周波数設定画面
周波数設定画面		電源OFF画面
電源OFF画面
ローメンテナンス構造：
エアパージ ワンタッチ交換 ●周囲のエアーが針先にゴミを寄せ付けにくい構造
●放電針ピッチ80㎜により高効率なイオンを発生、より広範囲除電を実現
●放電針ホルダーの交換もワンタッチで簡単
●メンテナンス時期も一目瞭然
    ・放電針のクリーニングレベルは3段階で設定可能
    ・クリーニング警報の出力が可能
仕様

項目バー長さ（mm）
370
[M4100V-052]		450
[M4100V-060]		610
[M4100V-076]		770
[M4100V-092]		1170
[M4100V-132]		1410
[M4100V-156]
名称フレキシブルACバー
型式MODEL 4100V
イオン発生方式フレキシブルAC式
周波数設定40Hz、 30Hz、 20Hz、 10Hz、 8Hz、 5Hz、 3Hz、 1Hz、 0.5Hz、 0.3Hz、 0.08Hz の11段階（11steps）
出力高電圧±6500V MAX
入力電圧DC24V ±10％ リップル（P-P） 10％以下
入力電流500mA MAX（フルオプション時）
電源コネクタ8Pモジュラータイプ（本体に2箇所配置）
設置距離50～2000mm
気体導入口φ6ワンタッチ継手をバー本体片側に配置φ6ワンタッチ継手を
バー本体両側に配置
気体圧力0.3MPa MAX
材質本体：ABS樹脂
対向電極：ステンレス
放電針：タングステンまたはポリシリコン
主な機能

・イオンバランス調整
・クリーニング表示及び信号出力
・出力アラーム表示及び信号出力
・除電バー電源ON/OFF出力信号



・イオナイザーモニタリングシステム接続可　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
・赤外線リモコンによる運転
使用環境温度：10℃～40℃　湿度：35％～65％RH（結露なきこと）
重量（kg）0.58
 		0.64
 		0.80
 		0.94
 		1.28
 		1.5
放電電極数（本）568101518



発注形態

発注形態

寸法図

寸法図1

寸法図2


必要最小限駆動仕様

必要最小限駆動仕様
]]> 超純水加熱装置 AQUARIUS (CDI シリーズ) tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.71 2009-06-30T16:31:26Z 2009-07-13T08:13:51Z hugle
モデルKW寸法
CDI 920020176 (H) ×61 (W) ×61 (D) cm
CDI 930030176 (H) ×61 (W) ×61 (D) cm
CDI 960060176 (H) ×61 (W) ×61 (D) cm
CDI 990090176 (H) ×82 (W) ×61 (D) cm
CDI 9120120176 (H) ×82 (W) ×61 (D) cm
＊仕様についてはご相談承ります。

]]> AMHS 対応 全自動 FOUP 洗浄システム UPC-12100 tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.68 2009-06-30T16:19:26Z 2009-08-04T23:22:38Z 【本体】 表面仕上SUS 304 # 400寸法2200 (W) x 2800 ... hugle 【本体】
表面仕上SUS 304 # 400
寸法2200 (W) x 2800 (H) x 2800 (D) mm
重量3500 kg以下
電源3φ 208 V　 25 kVA

【タンクユニット】
寸法460 (W) x 1200 (H) x 1000 (D) mm
重量120 kg以下
電源3φ 208 V 　5 kVA

※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
(マニュアル機を使用の場合あり) 
]]> 全自動 SMIF POD 洗浄システム UPC-8300 tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.62 2009-06-30T16:07:02Z 2009-08-04T23:27:59Z hugle 外形寸法2000 (W) ×2000 (D) ×2200 (H) mm重量1800 ㎏ (本体) 、300 ㎏ (タンクユニット / 満水時)電気200 V　3 相　75 A (本体)200 V　3 相　30 A (タンクユニット)純水30 LPM (最大使用時)水圧　3 kgf / cm2配管径 1 / 2"　日本ピラー スーパー 300CDA 1 (乾燥用)圧力7 kgf / cm2流量2.4 m3 / min配管径1"　OD SwagelokCDA 2 (パージ用)圧力7 kgf / cm2流量
0.3 m3 / min
配管径1 / 2"　OD SwagelokCDA 3 (純水加圧用)圧力7 kgf / cm2流量0.35 m3 / min配管径3 / 8"　OD Swagelok排水1流量15 LPM配管径JIS 40 A　フランジ (5 ㎏)排水2流量15 LPM配管径JIS 40 A　フランジ (5 ㎏)排気圧力100 mmAq流量2.8 m3 / min配管径JIS 125 A フランジ (10 ㎏)バキュームPressure- 41 kPa流量1 LPM配管径1 / 4" OD Swagelok
]]> 超純水加熱装置 ELECTRA (KDI シリーズ) tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.75 2009-06-29T16:37:44Z 2009-07-13T06:14:25Z モデルKWVOLTS寸法KDI 91515208 / 48066 (H) &ti... hugle モデルKWVOLTS寸法KDI 91515208 / 48066 (H) ×61 (W) ×18 (D) cm KDI 92727208 / 48092 (H) ×61 (W) ×18 (D) cmKDI 9404048092 (H) ×61 (W) ×18 (D) cm
]]> 純水加熱装置 POSEIDON (SSDI シリーズ) tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.158 2009-06-29T02:50:56Z 2009-07-13T05:26:05Z モデルKWVOLTS寸法SDI 24-3024240 / 480130 (H) ... hugle モデルKWVOLTS寸法SDI 24-3024240 / 480130 (H) ×99 (W) ×31 (D) cmSDI 72-3072240 / 480130 (H) ×99 (W) ×31 (D) cmSDI 96-3096480130 (H) ×99 (W) ×31 (D) cmSDI 120-3120480130 (H) ×122 (W) ×31 (D) cm＊仕様についてはご相談承ります。]]> 純水加熱装置 POSEIDON (SX シリーズ) tag:www.hugle.co.jp,2009:/products//2.160 2009-06-28T02:58:05Z 2009-07-13T05:27:57Z hugle ]]>