半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

ウェブ・基板上の異物除去のために使用します。
超音波エアー方式により非接触にてミクロン単位での除塵・回収が可能です。
非接触のためワーク表面加工膜の破壊、傷、ファイバー付着等の心配がありません。
また、本機用に特別設計製作されたクリーンな部品・部材で完全クリーンエアーにて除塵します。