半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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超音波ドライクリーナー
基板用両面クリーナー USG-206D
USG-206 を上下に配置し、フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ工程、セル工程で付着した異物をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。基板サイズは小板から大板まで広く対応します。
製品概要
●フラットパネルディスプレイのアレイ工程、セル工程で付着したパーティクルを、
インラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。
●基板サイズは小板から大板まで広く対応します。
インラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。
●基板サイズは小板から大板まで広く対応します。
除塵性能
1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です
| 実験装置 | 弊社内クリーンルーム（クラス100）内搬送装置 |
| 除塵対象 | 液晶用ガラス基板（370×470×0.7mm Ｃｒ膜） |
| 散布粒子 | 液晶用スペーサー（ミクロパール1.6・3・5・10μm）、ガラス粉塵 |
| ヘッド吐出圧力 | 13kPa |
| 基板ギャップ | 1.5mm |
| 搬送速度 | 100・200mm/sec |
| 評価機器 | CCDカメラ |
断面構造
●液晶用ガラス基板のように薄い基板に対しては、下面側クリーナー内部に支持ローラーを設置。
●ローラーの位置は吸引スリットと同一とはせず、ＶＰＶのスリット配列の外側に取り付け。
これにより、吐出・吸引スリット間のエアーを乱さず高い除塵率を可能とします。
装置構成
