半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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- クリーナー
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超音波ドライクリーナー
バキュームクリーナー VC-101
LCD 関連
スペーサー散布の凝集物除去を行います。
ヘッドのギャップとエアー流速調整により境界層内の粒子は動かさず、境界層の上に
出た粒子のみ集塵します。
ウェブ関連
紙粉や繊維くず等、比較的軽くて大きな
ダストを除去します。
仕様
