半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

極小ポイントの非接触ドライ洗浄に最適です。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。 「エアーガンでの除塵は周囲の環境汚染が心配」 「バキュームノズルが届かない場所を除塵したい」 「ワークの一部分だけを除塵したい」 などの問題解決として本製品をお使いください。

底面がフラットなフラットパネル用小型クリーナーです。 小型基板や小型の部品などに適しており、従来型SPSタイプを改良することで、さらに低価格を実現しました。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。

底面がフラットなフラットパネル用小型クリーナーです。 小型基板や小型の部品、12cm光ディスクなどに適しています。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。

除塵対象範囲の狭い基材は、小型ウェブクリーナーをご利用ください。 フィルム端のみの除塵、電極部分、スリッター後の狭幅フィルム、シャフトのクリーニングなどに適しています。