半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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基板クリーナー
基板用片面クリーナー（ハイエンド高圧型） USG-207
USG-206 の VPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波エアーを発生することで、USG-206でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーの最高峰モデルです。
製品概要
●独自の超音波エアー方式と、吐出、吸入のエアーバランス制御により、基板表面より剥離した
粒子は、効果的に吸引チャンバーに吸い込まれ、周囲への飛散を防ぎます。
●非接触ですから製品表面を傷めません。
●乾式エアークリーナーですから、スループット向上に大幅な貢献が見られます。
●P,V エアーのバランス制御バルブにより、周囲へのエアー吹き漏れもシャットアウトします。 (特許)
●大型基板も対応可能です。
粒子は、効果的に吸引チャンバーに吸い込まれ、周囲への飛散を防ぎます。
●非接触ですから製品表面を傷めません。
●乾式エアークリーナーですから、スループット向上に大幅な貢献が見られます。
●P,V エアーのバランス制御バルブにより、周囲へのエアー吹き漏れもシャットアウトします。 (特許)
●大型基板も対応可能です。
除塵性能
1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です
| 実験装置 | 弊社内クリーンルーム（クラス100）内搬送装置 |
| 除塵対象 | 液晶用ガラス基板（370×470×0.7mm Ｃｒ膜） |
| 散布粒子 | 液晶用スペーサー（ミクロパール1.6・3・5・10μm）、ガラス粉塵 |
| ヘッド吐出圧力 | 13kPa |
| 基板ギャップ | 1.5mm |
| 搬送速度 | 100・200mm/sec |
| 評価機器 | CCDカメラ |
断面構造
クリーニング基材上に付着しているさまざまな異物は、静電気によるものも少なくありません。
除電器 (イオナイザー) メーカーでもある弊社は、クリーナーの性能をより有効にご活用いただくため、 クリーニング前に除電を行うシステムをご提案しております。
イオナイザー詳細仕様は、本サイトのイオナイザー項をご覧下さい。
除電器 (イオナイザー) メーカーでもある弊社は、クリーナーの性能をより有効にご活用いただくため、 クリーニング前に除電を行うシステムをご提案しております。
イオナイザー詳細仕様は、本サイトのイオナイザー項をご覧下さい。
