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製品紹介

基板クリーナー

有機EL(OLED)用クリーナー USG-401S(N2)

ヒューグルエレクトロニクスが提供する有機ELディスプレイ用クリーナーは、密閉チャンバー内の窒素環境下で有機蒸着されたガラス表面の異物を除去することが可能です。
すでに多くの有機EL封止(ENCAPSULATION)工程にて使用されており高い評価を頂いています。

仕様

TFT液晶・LTPS液晶製造ラインで実績のあるドライ洗浄技術を窒素環境下で実現しました。チャンバー内の窒素環境を維持した状態でクリーナー処理を行うための、新たに設計されたブロワ/フィルターユニット、温度コントロールシステムをご提供致します。(特許取得済)

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