半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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基板クリーナー
基板用両面クリーナー（省エネ型） USG-402
小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。
製品概要
弊社は、世界初となる第10世代液晶ガラス基板（3m級サイズ）に対応した『大型ガラス基板用両面クリーナー』を開発し、両面除塵搬送に成功いたしました。
大型ディスプレイの需要拡大期にあたり、パネル製造メーカーはマザーガラスの大型化による生産性の向上を進めております。弊社では今日までに培ったドライ洗浄技術を生かし、今後の大型パネルにおける生産性の向上に貢献してまいります。（G12対応機開発中）
大型ディスプレイの需要拡大期にあたり、パネル製造メーカーはマザーガラスの大型化による生産性の向上を進めております。弊社では今日までに培ったドライ洗浄技術を生かし、今後の大型パネルにおける生産性の向上に貢献してまいります。（G12対応機開発中）
除塵性能
1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です
| 実験装置 | 弊社内クリーンルーム（クラス100）内搬送装置 |
| 除塵対象 | 液晶用ガラス基板（370×470×0.7mm Ｃｒ膜） |
| 散布粒子 | 液晶用スペーサー（ミクロパール1.6・3・5・10μm）、ガラス粉塵 |
| ヘッド吐出圧力 | 13kPa |
| 基板ギャップ | 1.5mm |
| 搬送速度 | 100・200・300mm/sec |
| 評価機器 | CCDカメラ |
製品紹介ビデオ
