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製品紹介

超音波ドライクリーナー

基板用片面クリーナー(省エネ型) USG-401S

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。


コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。


FPD、有機EL、PVパネルの上面クリーニングに最適です。

仕様

 有効幅は100~3000mm超まで大小様々な基板に対応可能です。


従来型との比較
 1400mm基板比  USG-401S  メリット
 ヘッド寸法  ▲50%  省スペース
 ブロワーユニット寸法  ▲12%  省スペース
 ブロワーユニット重量  ▲20%  軽量化
 ブロワー定格  ▲25%  小型化
 消費電力  ▲22%  省電力
 ランニングコスト  ▲20%  省エネ
 イニシャルコスト  ▲20%  低価格

除塵性能
1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です

実験条件
 実験装置  弊社内クリーンルーム(クラス100)内搬送装置
 除塵対象  液晶用ガラス基板(370×470×0.7mm Cr膜)
 散布粒子  液晶用スペーサー(ミクロパール1.6・3・5・10μm)、ガラス粉塵
 ヘッド吐出圧力  13kPa
 基板ギャップ  1.5mm
 搬送速度  100・200・300mm/sec
 評価機器  CCDカメラ

N2環境対応
密閉チャンバー内でのクリーニングを実現した製品(特許取得済み)をご用意しております。
詳細はこちら

デモ評価機
 

 搬送タイプ  クリーニングヘッド駆動式
 対象基板サイズ  最大730㎜×920㎜
 評価機器1  全面ガラス検査装置 GI-5400(日立ハイテク製)
 評価機器2  デジタルマイクロスコープ VHX-5000(キーエンス製)
 倍率:500倍~5000倍

製品紹介ビデオ

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