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製品紹介

超音波ドライクリーナー

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

製品概要
大型ディスプレイの需要拡大期にあたり、パネル製造メーカーはマザーガラスの大型化による生産性の向上を進めております。弊社では今日までに培ったドライ洗浄技術を生かし、今後の大型パネルにおける生産性の向上に貢献してまいります。(G12対応機開発中)

除塵性能
1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です

実験条件
 実験装置  弊社内クリーンルーム(クラス100)内搬送装置
 除塵対象  液晶用ガラス基板(370×470×0.7mm Cr膜)
 散布粒子  液晶用スペーサー(ミクロパール1.6・3・5・10μm)、ガラス粉塵
 ヘッド吐出圧力  13kPa
 基板ギャップ  1.5mm
 搬送速度  100・200・300mm/sec
 評価機器  CCDカメラ
N2環境対応
密閉チャンバー内でのクリーニングを実現した製品(特許取得済み)をご用意しております。
詳細はこちら
 
デモ評価機
  

 搬送タイプ  コンベア式
 対象基板サイズ  最大1100㎜×1300㎜
 評価機器1  全面ガラス検査装置 GI-5400(日立ハイテク製)
 評価機器2  デジタルマイクロスコープ VHX-5000(キーエンス製)
 倍率:500倍~5000倍

製品紹介ビデオ

 

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