半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

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PV 式スリット配列の USG-201 を進化させた、PPV 式スリット配列です。

独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を製品表面より剥離可能なフラットパネル用クリーナーです。

●独自の超音波エアー方式と、吐出、吸入のエアーバランス制御により、基板表面より剥離した
    粒子は、効果的に吸引チャンバーに吸い込まれ、周囲への飛散を防ぎます。
●非接触ですから製品表面を傷めません。
●乾式エアークリーナーですから、スループット向上に大幅な貢献が見られます。
●P,V エアーのバランス制御バルブにより、周囲へのエアー吹き漏れもシャットアウトします。 (特許)
●大型基板も対応可能です。
●基板とのGAP設定が3mmのため、表面に凹凸がある基板へも設置が容易です。