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容器洗浄製品

半導体製造工程で使用される各種容器を精密洗浄、完全乾燥します。
全ての装置が自動シーケンスで、かつ、一部を除いて容器開閉もロボットにより自動化されています。 最上位機種は、各種コントローラと連動し完全無人運転が可能です。
洗浄方式は、20 年以上の実績に裏打ちされた「ジェット純水方式」を採用しています。

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