半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

半導体製造工程で使用される各種容器を精密洗浄、完全乾燥します。
全ての装置が自動シーケンスで、かつ、一部を除いて容器開閉もロボットにより自動化されています。 最上位機種は、各種コントローラと連動し完全無人運転が可能です。
洗浄方式は、20 年以上の実績に裏打ちされた「ジェット純水方式」を採用しています。