半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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容器洗浄12インチ
全自動FOUP洗浄システム SORA（UPC-12500)
300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠しております。自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に対応しているため、オンラインでの管理にも相応しい装置として実現しています。
世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。
製品概要
● 高スループットを実現
● メンテナンス性の向上
● 全自動FOUP開閉により、クロスコンタミネーションの防止
● ２流体ジェット洗浄方式による超精密洗浄
● FOUPドアの高速回転によるスピード乾燥
● 省フットプリント設計
仕様
| 寸法 | 2,200(W) × 3,250(L) × 2,500(H) mm | |
| 重量 | 3,800 kg | |
| 電源 | 3φ, 200V±10V, 100A | |
| 純水 | 15 LPM | 1/2" |
| CDA-1 | 4,000 LPM, 0.7 ± 0.05 MPa | 1" |
| CDA-2 | 1,000 LPM, 0.7 ± 0.05 MPa | 1/2" |
| バキューム | 2 LPM, -45 ～ -100 kPa | 1/4" |
| 排水-1 | 15 LPM | 40A |
| 排水-2 | 15 LPM | 40A |
| 排気-1 | 2,000 LPM | 20A |
| 排気-2 | 2,500 LPM (2系統) | 80A (2系統) |
| ドレイン | Rc 1/2" (2系統) |
※ この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
製品紹介ビデオ
