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製品紹介

容器洗浄8インチ

SMIF POD 洗浄システム CP-2200

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。
CP - 2200 は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。
CP - 2200 はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。

製品概要

●SMIF POD のカバー部の内外面、ベース部内面の同時純水ジェット洗浄・エアーナイフ温風乾燥
●ポッドは回転させ、至近距離に配置されたノズルから精密な洗浄、乾燥
●洗浄中以外は少量の純水を排水してバクテリアの発生防止
●タッチパネルによる簡単操作
●シーケンサ方式採用のコントローラー
●作業者にやさしい各種安全装置
●容易なメンテナンス
●ニーズに合わせた種々のオプション設計が可能

仕様


セット方式マニュアル
処理対象8 インチ SMIF POD / 8 インチカセット
処理時間1 セット / 15 分
外形寸法1300 (W) ×70 (D) ×1580 (H) mm (チャンバー扉開口時)
重量300 ㎏
電源3 相、200 VAC (アース付) 、8 KVA、50 / 60 Hz
純水流量10 リットル / min (最低必要流量)
圧力0.1 Mpa
CDA
(クリーンドライエアー)
流量1600 NL / min
圧力0.7 Mpa
排気排気量2000 NL / min 以上
排水流量40 リットル/ min 以上

※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

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