半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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容器洗浄8インチ
SMIF POD 洗浄システム CP-2200
8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。
CP - 2200 は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。
CP - 2200 はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。
製品概要
●SMIF POD のカバー部の内外面、ベース部内面の同時純水ジェット洗浄・エアーナイフ温風乾燥
●ポッドは回転させ、至近距離に配置されたノズルから精密な洗浄、乾燥
●洗浄中以外は少量の純水を排水してバクテリアの発生防止
●タッチパネルによる簡単操作
●シーケンサ方式採用のコントローラー
●作業者にやさしい各種安全装置
●容易なメンテナンス
●ニーズに合わせた種々のオプション設計が可能
仕様
| セット方式 | マニュアル | |
| 処理対象 | 8 インチ SMIF POD / 8 インチカセット | |
| 処理時間 | 1 セット / 15 分 | |
| 外形寸法 | 1300 (W) ×70 (D) ×1580 (H) mm (チャンバー扉開口時) | |
| 重量 | 300 ㎏ | |
| 電源 | 3 相、200 VAC (アース付) 、8 KVA、50 / 60 Hz | |
| 純水 | 流量 | 10 リットル / min (最低必要流量) |
| 圧力 | 0.1 Mpa | |
| CDA (クリーンドライエアー) | 流量 | 1600 NL / min |
| 圧力 | 0.7 Mpa | |
| 排気 | 排気量 | 2000 NL / min 以上 |
| 排水 | 流量 | 40 リットル/ min 以上 |
※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
