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製品紹介

容器洗浄~8インチ

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

製品概要

・多種容器対応可能
・省スペース/省エネ設計
・Hugle独自の超精密洗浄
・完全乾燥を実現する高効率ホットエアーナイフ乾燥
・多様なオプション対応
・SEMI S2,S8,CE規格準拠

仕様

 装置本体:2630(W) × 1170(D) × 1706(H) mm(突起物含まず) 

 
 製品紹介ビデオ


※ 本装置の詳細に関しては弊社本社・もしくは営業所へお問い合せください。

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