半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

静電気によるゴミの付着は、製品の歩留まり、時間の浪費など大きな問題を引き起こします。 弊社のイオン化エアーガン MODEL 311 A / 312 A は、液晶パネルやディスク製造時の除電に最適なイオナイザーです。

MODEL3080ペン型イオナイザーは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。

従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。 ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。

近年高まってきた“よりクリーンなエアーを”の声にお応えするために、MODEL 306は 0.01μのフィルターを内蔵しました。 イオン発生方式は、＋、－ 各イオンが均一に 発生しやすい AC 式を採用しており 静電除去を効率よく行えます。