半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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エアーガン
クリーンジェットガン MODEL 307R
従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。
安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。
スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。
ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。
製品概要
●吹出しノズルは、ワイドエリア用、スポットエリア用の 2 種類を標準装備
●様々な使用条件で優れたイオンバランスを確保するイオンバランス調節機能付
●交換の容易な放電針はシリコン放電針の使用が可能
●0.01μフィルターはワンタッチ着脱方式
仕様
| 入力電圧 | AC 100 V - 115 V 50 / 60 Hz |
| 入力電流 | 0.23 A |
| 適用フィルター | 307 用 HAG - 1 |
| 圧力範囲 | 0.05 ～ 0.7 MPa |
| 流量 | 118 L / min MAX |
| 使用周囲温度 | 5 ～ 40 ℃ |
| 使用周囲湿度 | 35 ～ 65 % RH (結露なきこと) |
| ガン部重量 | 500 g |
| 電源部重量 | 2.1 kg |
外観図
※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
