半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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エアーガン
ペンタイプイオナイザ MODEL 3080R
MODEL3080Rペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。
イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。
新機能「パルスエアー」の搭載により、更なる除塵率の向上をお届けします。
製品概要
●高電圧駆動回路の異常を検知すると自動的に高電圧を遮断する安全回路を内蔵
●φ1.5mmの極小ノズルからの高速エアーにより、微細塵の除去が可能
●放電針は交換が容易なピンコネクタ方式を搭載しており、日々のメンテナンスが簡単
仕様
| 入力電圧 | DC 24 V (AC 90－264 V 50 / 60 Hz 用アダプタ付属) | |
| 入力電流 | 0.5 A MAX | |
| 気体圧力 | 0.4 MPa MAX （スピコンにて流量調整可能） | |
| パルス幅 | 1Hz ～ 10Hz | |
| 使用周囲温度 | 10 ℃ - 40 ℃ | |
| 使用周囲湿度 | 35 % RH - 65 % RH (結露なきこと) | |
| 付属品 | ACアダプタ (AC 90－264 V 50 / 60 Hz用アダプタ付属) 電源コード (AC 100 V - 120 V用) |
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| オプション | フットスイッチ | |
| ペン部重量 | 130ｇ | |
| コントローラ部重量 | 750ｇ | |
製品紹介ビデオ
外観図
