半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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測定器
スタティックモニター (表面電位センサー) MODEL 750
液晶パネルや半導体製造工程での
静電気対策に各種除電装置は不可欠な
ものですが、思わぬトラブルや環境異常等に
よる除電ミスが製品の品質、製造コストの
上昇、効率化等に影響を及ぼします。
MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所
での静電気監視、管理が行えます。
製品概要
●測定レンジの切り換えにより、測定範囲は ± 50 kV まで測定可能
●本装置に 5 ヶのスポットセンサーが接続でき、同時に 5 ヶ所の静電気測定、製品の帯電状態の監視が可能
●警報機能により、測定中に設定値を越えた異常電位を検知するとアラームが発し、同時に
異常検知チャンネルの LED 表示が赤色点灯
●記録計用のアナログ出力端子からは、それぞれの測定値が同時に出力
接続した記録計による記録、管理が可能
●スポットセンサーは小型軽量の非接触タイプ
仕様
| 入力電圧 | AC 85 - 240 V 50 / 60 Hz | |
| 入力電流 | 0.24 A | |
| 測定範囲 | LO レンジ | ± 0.01 kV ～ ± 5.00 kV (測定距離 10 mm) |
| HI レンジ | ± 0.1 kV ～ ± 50.0 kV (測定距離100mm) |
|
| 測定精度 | LO レンジ | ± 5 % (± 2 デジット) |
| HI レンジ | ± 5 % (± 2 デジット) | |
| 測定電位表示 | LO レンジ | 0.01 kV 単位 |
| HI レンジ | 0.1 kV 単位 | |
| 警報電位設定 | LO レンジ | 0.01 kV 単位 |
| HI レンジ | 0.1 kV 単位 | |
| 外部出力 | アナログ出力±10 mV ～ ± 5000 mV | |
| センサーケーブル長 | 5000 mm (中継ケーブル含む) | |
| 使用周囲温度 | 10 ～ 35 ℃ | |
| 使用周囲湿度 | 35 ～ 65 % RH (結露なきこと) | |
| 外形寸法 | 本体 | 216 (W) ×95 (H) ×240 (D) mm |
| センサー | 14.5 (W) ×16.5 (H) ×80 (L) mm | |
| 重量 |
本体： 2.5 Kg / センサー： 120g |
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外観図
