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製品紹介

測定器

スタティックモニター (表面電位センサー) MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での
静電気対策に各種除電装置は不可欠な
ものですが、思わぬトラブルや環境異常等に
よる除電ミスが製品の品質、製造コストの
上昇、効率化等に影響を及ぼします。
MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所
での静電気監視、管理が行えます。

製品概要

●測定レンジの切り換えにより、測定範囲は ± 50 kV まで測定可能
●本装置に 5 ヶのスポットセンサーが接続でき、同時に 5 ヶ所の静電気測定、製品の帯電状態の監視が可能
●警報機能により、測定中に設定値を越えた異常電位を検知するとアラームが発し、同時に
 異常検知チャンネルの LED 表示が赤色点灯
●記録計用のアナログ出力端子からは、それぞれの測定値が同時に出力
 接続した記録計による記録、管理が可能
●スポットセンサーは小型軽量の非接触タイプ

仕様

入力電圧 AC 100 - 240 V  50 / 60 Hz
入力電流 0.24 A
測定範囲 LO レンジ ± 0.01 kV ~ ± 5.00 kV
(測定距離 10 mm)
HI レンジ ± 0.1 kV ~ ± 50.0 kV
(測定距離100mm)
測定精度 LO レンジ ± 5 % (± 2 デジット)
HI レンジ ± 5 % (± 2 デジット)
測定電位表示 LO レンジ 0.01 kV 単位
HI レンジ 0.1 kV 単位
警報電位設定 LO レンジ 0.01 kV 単位
HI レンジ 0.1 kV 単位
外部出力 アナログ出力±10 mV ~ ± 5000 mV
センサーケーブル長 1m+中継ケーブル4 m  計5m(標準) ※特注で10mまで可能
使用周囲温度 10 ~ 40 ℃
使用周囲湿度 35 ~ 65 % RH (結露なきこと)
外形寸法 本体 216 (W) ×93(H) ×240 (D) mm
センサー 14.5 (W) ×16.5 (H) ×80 (L) mm
重量

本体: 1.8 Kg / センサー: 120g

   

 外観図

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