ウェハ自動移載機

本装置は6,8インチ兼用、及び、SEMI規格ウェハに対応したウェハ移載機です。キャリア自動識別機能、マッピング機能、基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載、レシピ移載など、お客様のご要求仕様に基づきカスタマイズ可能です。