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ウェハ移載機

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

薄型ウェハ対応(TAIKOプロセス)シングルピックアップのウェハ移載機。 ウェハをキャリアから1枚ずつピックアップして搬送します。キャリアからキャリアへ移動及びキャリア内での移動にも対応。省スペースの卓上タイプ。

ウェハ移載機 BPP200 / BPP150

ウェハ移載機 BPP200 / BPP150

センサによりマッピングを行い正確なウェハの位置を読み込みます。 キャリアからキャリアへ一括して移載。省スペースの卓上タイプ。

ウェハ移載機 AWT200 / AWT150 / MWT200 / MWT150

ウェハ移載機 AWT200 / AWT150 / MWT200 / MWT150

自動でウェハをスライド(マニュアルタイプもあり)。SEMI規格のキャリア間にて水平なバッチ移載。省スペースの卓上タイプ。

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