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製品紹介

ウェハ移載機

ウェハ移載機 AWT200 / AWT150 / MWT200 / MWT150

製品カタログPDF

自動でウェハをスライド(マニュアルタイプもあり)。SEMI規格のキャリア間にて水平なバッチ移載。省スペースの卓上タイプ。

製品概要

●SEMI規格のキャリア間にて水平なバッチ移載。
●省スペースの卓上タイプ
●キャリアが正しくセットされていない時はセンサーにより移載が停止します。(AWT)
●移載時に過電流を検知した際にはウェハへのダメージを避けるために移載アームは停止します。(AWT)
●200mm(AWT200、MWT200)又は150mm(AWT150、MWT150)に対応
●自動(AWT200、AWT150)又はマニュアル(MWT200、MWT150)に対応。

仕様

電源 AC 100/240 V、50 / 60Hz   
電流容量 1.2 A
外形寸法
AWT200: 642(L)×230(W)×290(H) mm
 (自動タイプ、200mm)
MWT200: 642(L)×230(W)×290(H) mm
 (マニュアルタイプ、200mm)
AWT150: 545(L)×172(W)×248(H) mm
 (自動タイプ、150mm)
MWT150: 534(L)×212(W)×248(H) mm
 (マニュアルタイプ、150mm)

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