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製品紹介

ウェハ移載機

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

製品カタログPDF

薄型ウェハ対応(TAIKOプロセス)シングルピックアップのウェハ移載機。 ウェハをキャリアから1枚ずつピックアップして搬送します。キャリアからキャリアへ移動及びキャリア内での移動にも対応。省スペースの卓上タイプ。

製品概要

●ウェハをキャリアから1枚ずつピックアップして搬送します。
●キャリアからキャリアへ移動及びキャリア内での移動にも対応。
●省スペースの卓上タイプ
●ノンバキューム方式
●TAIKOプロセスのウェハ移載も対応。
●移載前にマッピングを行い正確なウェハの位置を読み込みます。
(ウェハが正しくキャリアにセットされているか、ずれていないかチェック。)
●載せ替えるキャリアについてもウェハが残っていないかチェック
●200mm(SPP200)又は150mm(SPP150)に対応
●PWP(ウェーハ搬送発塵) <10@0.2um
●キャリアとウェハに対しESD保護を実現
●オプション(MEMSウエハ用長尺縁接触フィンガー)

仕様

電源 AC 100/240 V、50 / 60Hz   
電流容量 2 A
外形寸法
SPP150: 856(L)×677(W)×645(H) mm
SPP200: 856(L)×677(W)×645(H) mm

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