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生産終了製品

自動カセット・ボックス洗浄システム CRD - 4500

自動カセット・ボックス洗浄システム CRD - 4500

CRD-4500は、洗浄技術に最大の技術と豊富な経験をもつヒューグルエレクトロニクスが、信頼と実績を得てきたCRD-4200の長所をさらに向上させ、洗浄力アップ、省エネ、省スペース、安全性、標準化をコンセプトに新設計した、次世代の自動カセット・ボックス洗浄システムです。

AC式イオン送風器 MODEL 20/20S

AC式イオン送風器 MODEL 20/20S

フロント内部にある 16 本の放電針の高電圧コロナ放電により空気をイオン化し、それをファンで帯電物に吹き付ける事で帯電物の静電気を中和する除電装置です。 フロントパネル前面に設置した特殊センサーがフロントパネル付近のイオンバランスを常時検知し、特性のアンバランスを検知すると自動的に装置はセンサー電圧と反対極性のイオンを瞬時に発生させ、常にバランスのとれた状態に戻す機能を持っています。

イオン風除電器 MODEL 3200

イオン風除電器 MODEL 3200

当社独自回路により発生したイオンによって、エアーを使用せずに効果的な除電が可能となります。 (エアー、窒素を使用した除電も可能です) 直接、風を当てられない微細製品等の取り扱い工程での除電を目的としております。

フレキシブルAC式イオナイザー MODEL 4200

フレキシブルAC式イオナイザー MODEL 4200

バー長約3300mmによる広範囲除電が可能!大型基板対応 除電効率を落とすことなくランニングコストの削減を実現

AMHS 対応 全自動 FOUP 洗浄システム UPC-12100

AMHS 対応 全自動 FOUP 洗浄システム UPC-12100

全自動 300 mm FOUP 洗浄システム SECS II プロトコルによる OHT / RGV 自動搬送システムに対応した、超音波 ジェット純水による全自動 300 mm FOUP 洗浄システムです。 ヒューグルエレクトロニクスの、容器洗浄 システムにおける豊富な経験と技術を 結実させた最上位機種です。

DC式大風量イオン送風器 MODEL 1500 【ミラノ】

DC式大風量イオン送風器 MODEL 1500 【ミラノ】

簡単操作・見やすさ・使いやすさをコンセプトとして開発した送風器【ミラノ】は、イオンバランス確認やリモコン操作が、本体の前後どちらからでも可能です。 更に、従来の送風器ではカバーしきれなかった遠距離でも、今までにない急速除電が可能となりました。 独自のイオンセンサー構造がイオンバランスをマイコン制御することにより、従来のDCタイプに比べ、更にイオンバランスが均一となります。 【ミラノ】の風をぜひお試しください。

HS-6080/6080i

HS-6080/6080i

半導体用 UV 硬化型フィルムへのUV 照射装置として開発された、操作性に優れた小型で低価格な装置です。

帯電プレートモニター (イオナイザー評価モニタ) MODEL 700A

帯電プレートモニター (イオナイザー評価モニタ) MODEL 700A

イオナイザーのイオンバランス調整及び 除電時間の測定を行う精密計測器です。 あらゆる種類のイオン発生器の除電効果の 評価用として使用できます。

スタティックモニタリングシステム MODEL 7000シリーズ

スタティックモニタリングシステム MODEL 7000シリーズ

スタティックモニタリングシステムMODEL 7000シリーズは製造装置内、ガラス基板の搬送ライン等、さまざまな工程で静電気の発生をすばやく感知する高性能センサです。

DC 式エアパージイオナイズィングバー MODEL 5200E

DC 式エアパージイオナイズィングバー MODEL 5200E

MDIS 採用 (MIXED DUAL ION SYSTEM) 。 AC と DC 方式の長所を兼ね備えた画期的イオナイザー登場!! コントローラ部内蔵でイオン発生量を自在にコントロール。 逆 V 字状電極ホルダと高速エアーで最良のイオンバランスを実現します。 リモコンで簡単操作できます。

DC 式オートコントロールイオナイズィングバー MODEL 454i

DC 式オートコントロールイオナイズィングバー MODEL 454i

クリーンベンチや、クリーントンネル及び 装置内の除電に最適です。 UL 及び CE マーキング対応で オートコントロールの本器は長期に渡り 優れた性能を発揮します。

AC 式エアーフローイオナイズィングバー MODEL 410N1

AC 式エアーフローイオナイズィングバー MODEL 410N1

静電破壊及びゴミの付着は、製品の歩留まり、時間の浪費など大きな問題を引き起こします。弊社のイオン化エアーバー MODEL 410N1は、 液晶用ガラス基板や半導体製造時の除電に最適なイオナイザーです。

インラインエアーガン MODEL 3000T

インラインエアーガン MODEL 3000T

イオン発生方式は、+、- 各イオンが 均一に発生しやすい高周波方式を 採用しているため、イオンバランスを均一に 保ち、確実な静電気除去が可能です。 外部出力接点が設定されており、高電圧 出力時に接点がクローズ、高電圧出力が ダウンすると接点がオープンになります。

インラインエアーガン MODEL 3000D

インラインエアーガン MODEL 3000D

イオン発生方式は、+、- 各イオンが均一に発生しやすい高周波方式を採用しているため、イオンバランスを均一に保ち、確実な静電気除去が可能です。 外部出力接点が設定されており、高電圧出力時に接点がクローズ、高電圧出力がダウンすると接点がオープンになります。

大流量イオン化エアーガン MODEL 312A/311A

大流量イオン化エアーガン MODEL 312A/311A

静電気によるゴミの付着は、製品の歩留まり、時間の浪費など大きな問題を引き起こします。 弊社のイオン化エアーガン MODEL 311 A / 312 A は、液晶パネルやディスク製造時の除電に最適なイオナイザーです。

イオン化エアーガン MODEL 306

イオン化エアーガン MODEL 306

近年高まってきた“よりクリーンなエアーを”の声にお応えするために、MODEL 306は 0.01μのフィルターを内蔵しました。 イオン発生方式は、+、- 各イオンが均一に 発生しやすい AC 式を採用しており 静電除去を効率よく行えます。

AC式イオン送風器 MODEL 10/10N

AC式イオン送風器 MODEL 10/10N

ESD、EOS、マイクロダクトの付着及び 精密電子機器の誤作動を防止し製品の 歩留り向上に貢献します。 独自の自動イオン検知方式により± 5 V 以内のイオンバランスを達成しています。

AC式大風量イオン送風器 MODEL 30/30N

AC式大風量イオン送風器 MODEL 30/30N

フラットパネルディスプレイ、ハードディスク、半導体製品等の製造工程に於いて静電気をより迅速に除去する用途に最適です。 独自の自動イオン検知方式により± 10 V 以内のイオンバランスを達成しています。

DC式オーバーヘッドイオン送風器 MODEL 1300

DC式オーバーヘッドイオン送風器 MODEL 1300

広範囲にわたり優れた除電能力を発揮!! イオン拡散効率の高いDC方式と高効率ファンによる高速除電が可能です。 イオンバランスは本体フロントパネルに搭載されたセンサーにより常時コントロールされます。 LEDバーグラフ表示によりファンそれぞれの+ / - イオンの発生状態が確認できます。

バキュームクリーナー VC-101

バキュームクリーナー VC-101

LCD 関連 スペーサー散布の凝集物除去を行います。 ヘッドのギャップとエアー流速調整により境界層内の粒子は動かさず、境界層の上に 出た粒子のみ集塵します。 ウェブ関連 紙粉や繊維くず等、比較的軽くて大きな ダストを除去します。

カセット・ボックス洗浄システム CRD - 4200

カセット・ボックス洗浄システム CRD - 4200

半導体製造工程における洗浄技術に 最大の技術と豊富な経験を持つ ヒューグルエレクトロニクス株式会社が、 長年蓄積した高度な洗浄ノウハウにより 素材や形状の変化を損なうことなく 高清浄の洗浄を約束する高効率設計の システムです。

DC 式イオン送風器 "i Blower" MODEL 1420

DC 式イオン送風器

MODEL1420は、マイコン制御による高性能イオンバランス・コントロール機能と徐電対象物の帯電状況を感知する帯電量センサを備えた、DC型イオン送風器です。デジタル家電の組立工程や半導体、液晶パネル、ディスク、フィルムなど、電子デバイスの製造工程で不良やトラブルの原因となる静電気を迅速に除去します。

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

基板用片面クリーナー(省エネ型) USG-401

基板用片面クリーナー(省エネ型) USG-401

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの上面クリーニングに最適です。

基板用片面クリーナー(ハイエンド高圧型) USG-207

基板用片面クリーナー(ハイエンド高圧型) USG-207

USG-206 の VPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波エアーを発生することで、USG-206でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーの最高峰モデルです。

基板用両面クリーナー USG-206D

基板用両面クリーナー USG-206D

USG-206 を上下に配置し、フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ工程、セル工程で付着した異物をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。基板サイズは小板から大板まで広く対応します。

基板用片面クリーナー USG-206

基板用片面クリーナー USG-206

P エアーチャンバーにイオナイザーを内蔵した汎用タイプ非接触式ドライクリーナーです。 イオン化エアーを吹き付けることで、摩擦帯電の発生を抑え、異物の再付着を防止します。ノズルからの騒音低減だけでなく、ブロワーユニットの大幅な小型化により低価格化を実現しています。

基板用片面クリーナー(高圧型) USG-203

基板用片面クリーナー(高圧型) USG-203

USG-202 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波を発生することで、USG-202 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーです。

基板用片面クリーナー USG-202

基板用片面クリーナー USG-202

PV 式スリット配列の USG-201 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を製品表面より剥離可能なフラットパネル用クリーナーです。

ワイヤーボンドプルテスター System 226

ワイヤーボンドプルテスター System 226

破壊・非破壊テストが可能な高性能、低価格、小型設計のワイヤープルテスト専用の装置です。 最大測定荷重 100 グラム。マウスコントロールにより、操作性抜群。

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