半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
帯電プレートモニター (イオナイザー評価モニタ) MODEL 700A
イオナイザーのイオンバランス調整及び
除電時間の測定を行う精密計測器です。
あらゆる種類のイオン発生器の除電効果の
評価用として使用できます。
製品概要
●プレートへの帯電電圧は ± 500 V ～ ± 5000 V の範囲で調整可能
●除電時間計の停止電圧は 0 ～ ± 999 V の範囲で任意に調整可能
●ピークホールド機能付
●本体とプレート部が分離しリモート測定可能
●既存のレコーダへ接続可能な外部出力端子付
●AC 電源及び内蔵バッテリーによる使用が可能
●ANSI EOS / ESD S 3.1 - 1991 規格に適合
仕様
| 入力電圧 | AC 85 - 135 V 50 / 60 Hz |
| 入力電流 | 0.5 A |
| プレート帯電電圧 | ± 500 V ～ ± 5000 V (可変) |
| 外部出力信号 | アナログ出力 (0 ～ ± 5 V) |
| 減衰時間計 | 0 ～ 1999.9 秒 |
| プレート静電容量 | 20 ± 2 pF |
| 重量 | 本体： 3.2 kg プレート： 2.5 kg (ケーブル含む) |
| 周囲温湿度 | 10 ～ 35 ℃、20 ～ 65 % RH (結露なきこと) |
外観図
