半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
AC式イオン送風器 MODEL 10/10N
ESD、EOS、マイクロダクトの付着及び
精密電子機器の誤作動を防止し製品の
歩留り向上に貢献します。
独自の自動イオン検知方式により± 5 V 以内のイオンバランスを達成しています。
製品概要
●イオンバランスとイオン量をバーグラフにより表示
●イオンバランスが ± 5 V を越えると ｢ OUT OF BALANCE ｣ が点灯し、装置は自動的に停止
●イオン量が内部設定値より減少すると ｢ CLEANING ｣ の点滅とブザーの断続音
●放電針のクリーニングや交換は簡単
●風量調整機能付
仕様
| 入力電圧 | AC 100-115 V / AC 200-230 V 50 / 60 Hz |
| 入力電流 | 0.4 A |
| 風量 | 2.6  / min (50 Hz) Max3.1 / min (60 Hz) Max[ 風量調整可能 ] |
| オゾン | 0.003 ppm (吹き出し口から 10 mm) |
| イオンバランス | ± 5 V 以下 |
| 装置制御 | 自己診断自動制御、表示及び音による警報 |
| 寸法 | 160 (W) ×139 (D) ×285 (H) mm |
| 重量 | 2.7 kg |
| 使用周囲温湿度 | 5 ～ 40 ℃、35 ～ 65 % RH (結露なきこと) |
※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
