BGフィルム貼付装置
最大 8 インチまでのウェハに対応可能。 ウェハエッジでのフィルムカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。また、作業時間も 1 枚の貼り付け / カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。 フィルムのセパレーター巻取り / 静電気対策も可能です。