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製品紹介

BGフィルム貼付装置

Model 3200 / 3250

最大 8 インチまでのウェハに対応可能。
ウェハエッジでのフィルムカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。また、作業時間も 1 枚の貼り付け / カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。
フィルムのセパレーター巻取り / 静電気対策も可能です。

製品概要
 

Model 3200 :最大 6 インチ
Model 3250 :最大 8 インチ        
までのウェハに対応可能。

ウェハエッジでのフィルムカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。
また、作業時間も 1 枚の貼り付け/カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。
フィルムのセパレーター巻取り/静電気対策も可能です。

●気泡の無い均一な貼り付け
●ウェハのエッジから 127μ 以内の高精度でカット可能
●オリフラ部分もエッジに沿ってカット可能

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