半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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BGフィルム貼付装置
Model 3200 / 3250
最大 8 インチまでのウェハに対応可能。
ウェハエッジでのフィルムカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。また、作業時間も 1 枚の貼り付け / カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。
フィルムのセパレーター巻取り / 静電気対策も可能です。
製品概要
Model 3200 ：最大 6 インチ
Model 3250 ：最大 8 インチ
までのウェハに対応可能。
ウェハエッジでのフィルムカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。
また、作業時間も 1 枚の貼り付け/カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。
フィルムのセパレーター巻取り/静電気対策も可能です。
●気泡の無い均一な貼り付け
●ウェハのエッジから 127μ 以内の高精度でカット可能
●オリフラ部分もエッジに沿ってカット可能
