ドライスクラブ 2DH : ヒューグルエレクトロニクス株式会社

HOME > 製品紹介 > 半導体組立関連装置 > CVD排ガス処理システム > ドライスクラブ 2DH

CVD排ガス処理システム

この装置は LPCVD 及び PECVD装置の排気ラインに設置し、未反応ガスをプラズマにより反応促進させ堆積、除去を行う装置です。
装置はチャンバー、電源、電極にて構成されています。
電極は洗浄再生可能で、取り外し後洗浄または、In - Situ でのクリーニングも可能です。

●ポンプ保護によるメンテナンス頻度の削減
●装置ダウンタイム削減
●パーティクルの削減

チャンバーサイズ	直径 290×424 (H) mm
チャンバー材質	Al 製 (表面ハードアルマイト処理を施しています)
総重量	18.4 Kg (チャンバー全体の重量)
取り付けフランジ	ISO 80K (M 8 × 4 または 8 箇所) (チャンバー上下フランジ共に)
使用圧力範囲	5 Pa ～ 10,000 Pa
RF 電源	入力電源：3 相、200 VAC、20A
電極	材質 SUS 316L 製
RF 出力	ガス流量、圧力等によるプロセス条件にて RF 出力を決定します。

半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入