半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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ヒーター
タンクヒーター 65 / 67 シリーズ
本製品は純水や酸・アルカリ水溶液を加熱するためのヒーターです。ヒーター加熱時の熱損失が最小限となるよう製造されており、小型、高ワット密度、大表面積のヒーターです。これらは全て応答速度を最速にするための工夫であり、各種製造プロセス性能を向上するために役立てられております。
| PART № (例) | VAC | KW | AMPS | SIZE (L X W[mm]) |
| 650001 | 120 | 1 | 8.4 | 191 X 121 |
| 652001 | 120 | 2 | 16.7 | 264 X 216 |
| 651003 | 208 | 2.25 | 10.9 | 229 X 171 |
* サイズ、KW、VOLT等の仕様により各種豊富に取り揃えております。
