半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

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  • 異物
  • 液晶
  • ミクロ
  • ダスト
  • ドライ
  • クリーナー
  • イオンバランス
  • 防爆エリア
  • 無発塵
  • イオン風除電

半導体用 UV 硬化型フィルムへのUV 照射装置として開発された、操作性に優れた小型で低価格な装置です。