半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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ウェハ拡張装置
HS-1810
長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発された HS-1810 ウェハ拡張装置。
使い易さ、精度、汎用性に優れた、ベストセラー装置です。
製品概要
モーター駆動の採用により、1mm 単位のステージストローク設定が可能になり、より高精度な拡張を実現します。
リングサイズの変更は、治具交換のみで対応でき、アルミ製拡張リング、グリップリング、特殊仕様リング等、顧客のニーズに合わせた改造も可能です。
●フィルム予備加熱機構 (タイマー付)
●ステージ加熱 (Max. 100℃)
●ステージストローク調整機構 (Max. 90 mm、1 mm レンジ)
●ステージ上昇速度可変機構
●フィルムオートカット機構
●最大ウェハサイズ 8 インチ
●各種拡張リング、フレーム対応
●モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能
仕様
| 電源 | AC 100 V 5 A、 50 / 60 Hz |
| 重量 | 30 kg |
| サイズ | 685 (D) ×400 (W) ×350 (H) mm |
※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
