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製品紹介

ウェハフィルムマウンティング装置

HM-0608

Model HM-0608は手動でウェハーとダイシングフレームをセットした後、モーター駆動式ローラーでテープを貼り付けるセミオートウェハテープマウンティング装置です。
作業者の熟練度に関係なく気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。
(最大8インチフレーム対応)

製品概要

●最大ウェハサイズ 8 インチ (6インチ:オプション)
●最大テープ幅 : 300 mm
●ウェハ表面ヘの損傷防止の為の、特殊ステージ採用
●ステージ温度調整機構付
●テープ切断機構付
●モーター駆動式ローラー

仕様


電源 AC 100~240 V、50 / 60 Hz
電流容量 5 A
真空 94 kPa
エアー 5kg/㎠
寸法 875 (D) ×491 (W) ×356 (H) mm
重量 55 kg
ローラー駆動方式 モーター駆動式


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