半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入
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ｳｪﾊﾌｨﾙﾑﾏｳﾝﾃｨﾝｸﾞ装置
HS-7800
ダイシングフレーム及びウェハをフィルムにマウントしカットします。
気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。
(最大8インチフレーム対応)
製品概要
ウェハのフィルムマウントは、高精度のダイシングを実現する上で重要な要素となります。 Model HS-7800 ウェハフィルムマウンティング装置は、常にフィルムにテンションを掛けた
状態でマウントする独自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を入れる事なく、完璧なマウントを行ないます。ウェハ表面 の損傷に十分配慮した特殊ステージと、オペレーターの“ Skill ”を必要としない組込み式ローラーの使用により高い“ Yield ”を実現します。
また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備しています。
●最大ウェハサイズ 8 インチ
●各種ダイシングフレーム使用可能
●最大フィルム幅 HS-7800 ： 300 mm
●ウェハ表面ヘの損傷防止の為の、特殊ステージ採用
●ステージ温度調整 MAX 100℃
●フィルム切断機構付
●ローラー圧の調整可能
| イオナイザーによる静電気対策可 【イオナイザー使用例】 ①フィルムセパレーター剥離時の静電気対策 |
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| ②マウンティング後の静電気対策 |
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仕様
| 電源 | AC 100 V、50 / 60 Hz |
| 電流容量 | 3 A |
| 真空 | 60 kPa |
| 寸法 | 900 (D) ×400 (W) ×280 (H) mm |
| 重量 | 30 kg |
※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。
