半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

“ Correge SENSORS ”社のウェハ温度マッピングシステムは、正確にデータを収集し、速やかにウェハ表面温度分布を解析する装置です。 “ Correge SENSORS ”社製すべてのT/Cウェハ、プロフィール及びスパイク温度センサーに対応可能です。

特殊ボンディングにて、ウェハ表面に貼り付けられた“ Correge SENSORS ” 社のRTDウェハは、より正確に安定したウェハ表面温度を検出いたします。フロントエンド、バックエンド向きアプリケーションに最適です。

ウェハ貼り合わせ温検ウェハは、熱電対を2枚のウェハで挟み込んだサンドイッチ構造のT/Cウェハです。ウェハ貼り合わせ装置のモニタリングに使用されます。ウェハ貼り合わせ時、温度の均一な管理は必要不可欠です。特に、MENS、MOEMS、SOI、ウェハレベルパッケージング、3Dチップスタッキング分野に使用されます。

ウェハ表面温度検出ウェハは、特に半導体プロセス装置内、ウェハ温度のモニタリングに使用され、半導体装置設計、装置評価、プロセス評価に最適です。