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「12インチ」

FOUP/FOSB洗浄システム HNM-300

FOUP/FOSB洗浄システム HNM-300

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。HNM-300は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。 ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

全自動FOUP洗浄システム UPC-12500 SORA

全自動FOUP洗浄システム UPC-12500 SORA

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠しております。自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。

低圧配線式 DC 式イオナイズィングバー MODEL 453S

 低圧配線式 DC 式イオナイズィングバー MODEL 453S

半導体や LCD 基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンユニットに設置する事により、静電気による塵埃の付着や放電による 製品の破壊を防止できます。コントローラー部と放電バー間に低電圧信号線を採用する事により、安全性が向上しています。

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