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「5インチ」

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

SMIF POD/RSP200 洗浄システム CP-2200

SMIF POD/RSP200 洗浄システム CP-2200

CP-2200 は半導体デバイス容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 CP - 2200 は8 インチ用 SMIF PODはもちろん、RSP200 /8インチオープンカセットの精密洗浄・完全乾燥も可能です。

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