半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

手のひらサイズの小型設計により、狭い装置内等への搭載に優れています。 イオン発生方式は、高周波方式を採用しているため、イオンバランスを均一に保ち、精密な除電が可能です。 放電針の「クリーニング警報機能」、高圧異常時の「安全回路機能」を組み込んだ安全設計です。

放電バー個々にイオンバランス調整機能が 付いているため、各設置場所に合わせた 調整が可能です。 また、正イオンの発生時に赤、負イオンの 発生時には緑色の LED が点灯します。 放電バーはクリーンルームの気流を乱さない 当社独自の流線型形状で、設置場所に 合わせて最長 2,500 mm までの受注生産 方式を採用しています。 放電針は従来の金属性電極に比べ 耐摩耗性、耐薬品性に優れ金属汚染の無い ポリシリコン放電針の使用が可能です。

MODEL3080Rペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。 新機能「パルスエアー」の搭載により、更なる除塵率の向上をお届けします。

従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。 ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。

フィルムの製造、加工、繊維、製紙等の巻き取り工程において、静電気によるゴミの付着は、製品の歩留まり、時間の浪費等大きな問題になっています。 イオン化エアーバーMODEL 410Rはフィルム等走行しているウェブの上に設置し、非接触にて除電を行う装置です。周波数を10,000Hz以上に上げた高周波イオン発生構造のため通常の200倍以上の連続放電を行い、高速走行のウェブに対しても均一除電が可能です。 　　異常を検知すると自動的に出力を遮断し、警報ブザーが鳴る安全回路を内蔵。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

P エアーチャンバーにイオナイザーを内蔵した汎用タイプ非接触式ドライクリーナーです。 イオン化エアーを吹き付けることで、摩擦帯電の発生を抑え、異物の再付着を防止します。ノズルからの騒音低減だけでなく、ブロワーユニットの大幅な小型化により低価格化を実現しています。

USG-202 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波を発生することで、USG-202 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーです。

PV 式スリット配列の USG-201 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を製品表面より剥離可能なフラットパネル用クリーナーです。