半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

フロント内部にある 16 本の放電針の高電圧コロナ放電により空気をイオン化し、それをファンで帯電物に吹き付ける事で帯電物の静電気を中和する除電装置です。 フロントパネル前面に設置した特殊センサーがフロントパネル付近のイオンバランスを常時検知し、特性のアンバランスを検知すると自動的に装置はセンサー電圧と反対極性のイオンを瞬時に発生させ、常にバランスのとれた状態に戻す機能を持っています。

これまで高い評価をいただいておりました"i Blower" MODEL 1400シリーズに、追加機能として「クリーニングアラーム機能」「安全回路機能」を搭載しました。 表面パネルに装備したLEDの点灯により放電電極の清掃周期をお知らせします。 また、放電電極からの異常放電を感知すると、電源を自動で遮断し、アラームでお知らせします。 半導体や LCD 等の精密部品組立工程や製造装置内での静電気除去を目的とした、省スペースで高性能なイオン送風器です。 イオン拡散効率の良い DC 方式と高効率ファンによる高速除電が可能です。 イオンバランスはイオンセンサーにより常時コントロールされます。

フレキシブルＡＣ方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

簡単操作・見やすさ・使いやすさをコンセプトとして開発した送風器【ミラノ】は、イオンバランス確認やリモコン操作が、本体の前後どちらからでも可能です。 更に、従来の送風器ではカバーしきれなかった遠距離でも、今までにない急速除電が可能となりました。 独自のイオンセンサー構造がイオンバランスをマイコン制御することにより、従来のＤＣタイプに比べ、更にイオンバランスが均一となります。 【ミラノ】の風をぜひお試しください。

充実した安全装置。 電極部絶縁材料は難燃性 VO 相当を使用。 イオンブロー方式により、大きな除電エリア、 電極一体型ブローパイプ。 豊富なモニタ表示で異常を素早くキャッチ、 除電電極は放電ユニット交換が可能。

スペースを選ばない超小型 軟 X 線照射イオナイザー。 光がガス分子を直接イオン化して除電します。

液晶パネルや半導体製造工程での 静電気対策に各種除電装置は不可欠な ものですが、思わぬトラブルや環境異常等に よる除電ミスが製品の品質、製造コストの 上昇、効率化等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所 での静電気監視、管理が行えます。

半導体、フラットパネル、ディスク、フィルム等、様々な製造工程において発生する静電気を正確に測定・把握することは必須となっております。 このMODEL2050デジタル式静電気測定器は、対象物の帯電量をすばやく測定表示し、それぞれの測定値を最大100個までメモリします。またオプションの使用によりイオナイザーのイオンバランスや除電時間が計測可能です。

放電バー個々にイオンバランス調整機能が 付いているため、各設置場所に合わせた 調整が可能です。 また、正イオンの発生時に赤、負イオンの 発生時には緑色の LED が点灯します。 放電バーはクリーンルームの気流を乱さない 当社独自の流線型形状で、設置場所に 合わせて最長 2,500 mm までの受注生産 方式を採用しています。 放電針は従来の金属性電極に比べ 耐摩耗性、耐薬品性に優れ金属汚染の無い ポリシリコン放電針の使用が可能です。

半導体や LCD 基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンユニットに設置する事により、静電気による塵埃の付着や放電による 製品の破壊を防止できます。コントローラー部と放電バー間に低電圧信号線を採用する事により、安全性が向上しています。

静電気によるゴミの付着は、製品の歩留まり、時間の浪費など大きな問題を引き起こします。 弊社のイオン化エアーガン MODEL 311 A / 312 A は、液晶パネルやディスク製造時の除電に最適なイオナイザーです。

MODEL3080ペン型イオナイザーは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。

従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。 ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。

近年高まってきた“よりクリーンなエアーを”の声にお応えするために、MODEL 306は 0.01μのフィルターを内蔵しました。 イオン発生方式は、＋、－ 各イオンが均一に 発生しやすい AC 式を採用しており 静電除去を効率よく行えます。

フラットパネルディスプレイ､ハードディスク､半導体製品等の製造工程に於いて静電気をより迅速に除去する用途に最適です。 独自の自動イオン検知方式により± 10 V 以内のイオンバランスを達成しています。

LCD 関連 スペーサー散布の凝集物除去を行います。 ヘッドのギャップとエアー流速調整により境界層内の粒子は動かさず、境界層の上に 出た粒子のみ集塵します。 ウェブ関連 紙粉や繊維くず等、比較的軽くて大きな ダストを除去します。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの上面クリーニングに最適です。

USG-206 の VPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波エアーを発生することで、USG-206でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーの最高峰モデルです。

USG-206 を上下に配置し、フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ工程、セル工程で付着した異物をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。基板サイズは小板から大板まで広く対応します。

底面がフラットなフラットパネル用小型クリーナーです。 小型基板や小型の部品、12cm光ディスクなどに適しています。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。

USG-202 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波を発生することで、USG-202 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーです。

PV 式スリット配列の USG-201 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を製品表面より剥離可能なフラットパネル用クリーナーです。