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「食品容器」

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

DC 式イオン送風器 MODEL 1900

DC 式イオン送風器 MODEL 1900

マイコン制御式オートコントロールイオナイザー 超薄型、小型設計による省スペース化を実現。 装置内などの狭い場所への設置に適したコンパクト構造です。 LED表示により自身の動作状態や、クリーニング時期、アラーム警告が一目で判断できます。 放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡素になりました。 フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V

フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V

フレキシブルAC方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

MODEL3080Sペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。 新機能「パルスエアー」の搭載により、更なる除塵率の向上をお届けします。

クリーンジェットガン MODEL 307R

クリーンジェットガン MODEL 307R

従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。 ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。

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