半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

これまで高い評価をいただいておりました"i Blower" MODEL 1400シリーズに、追加機能として「クリーニングアラーム機能」「安全回路機能」を搭載しました。 表面パネルに装備したLEDの点灯により放電電極の清掃周期をお知らせします。 また、放電電極からの異常放電を感知すると、電源を自動で遮断し、アラームでお知らせします。 半導体や LCD 等の精密部品組立工程や製造装置内での静電気除去を目的とした、省スペースで高性能なイオン送風器です。 イオン拡散効率の良い DC 方式と高効率ファンによる高速除電が可能です。 イオンバランスはイオンセンサーにより常時コントロールされます。

フレキシブルＡＣ方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

簡単操作・見やすさ・使いやすさをコンセプトとして開発した送風器【ミラノ】は、イオンバランス確認やリモコン操作が、本体の前後どちらからでも可能です。 更に、従来の送風器ではカバーしきれなかった遠距離でも、今までにない急速除電が可能となりました。 独自のイオンセンサー構造がイオンバランスをマイコン制御することにより、従来のＤＣタイプに比べ、更にイオンバランスが均一となります。 【ミラノ】の風をぜひお試しください。

半導体、フラットパネル、ディスク、フィルム等、様々な製造工程において発生する静電気を正確に測定・把握することは必須となっております。 このMODEL2050デジタル式静電気測定器は、対象物の帯電量をすばやく測定表示し、それぞれの測定値を最大100個までメモリします。またオプションの使用によりイオナイザーのイオンバランスや除電時間が計測可能です。

静電気によるゴミの付着は、製品の歩留まり、時間の浪費など大きな問題を引き起こします。 弊社のイオン化エアーガン MODEL 311 A / 312 A は、液晶パネルやディスク製造時の除電に最適なイオナイザーです。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの上面クリーニングに最適です。