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「除電」

全自動EUV POD洗浄システム REN

全自動EUV POD洗浄システム REN

最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUV PODのための全自動洗浄装置です。Inner POD、Outer PODの分解/再組立はもちろん、各PODは個別の専用CHで洗浄/乾燥されます。 完全無人稼動も可能です。 ナノレベルのパーティクル除去を半導体デバイス容器洗浄装置メーカーとして30年間構築した独自の洗浄/乾燥技術で実現します。

SMIF POD/RSP200 洗浄システム CP-2200

SMIF POD/RSP200 洗浄システム CP-2200

CP-2200 は半導体デバイス容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 CP - 2200 は8 インチ用 SMIF PODはもちろん、RSP200 /8インチオープンカセットの精密洗浄・完全乾燥も可能です。

全自動FOUP洗浄システム UPC-12500 SORA

全自動FOUP洗浄システム UPC-12500 SORA

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠しております。自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。

マルチプレートモニター MP-1

マルチプレートモニター MP-1

マルチプレートモニター「MP-1」は、イオナイザのメンテナンス用としてご使用頂ける最新型のチャージプレートモニターです。 現在、お客様がご使用されているイオナイザの「除電時間」、「イオンバランス」を簡易的に計測することができます。 タッチパネルによるスムーズな操作により、日々のイオナイザメンテナンスが簡素化されます。 計測データはグラフによるリアルタイム表示のため、イオナイザの動作状態を一目で判断する事ができます。

インラインエアーガン MODEL 3100

インラインエアーガン MODEL 3100

手のひらサイズの小型設計により、狭い装置内等への搭載に優れています。 イオン発生方式は、高周波方式を採用しているため、イオンバランスを均一に保ち、精密な除電が可能です。 放電針の「クリーニング警報機能」、高圧異常時の「安全回路機能」を組み込んだ安全設計です。

DC 式イオン送風器 MODEL 1900

DC 式イオン送風器 MODEL 1900

マイコン制御式オートコントロールイオナイザー 超薄型、小型設計による省スペース化を実現。 装置内などの狭い場所への設置に適したコンパクト構造です。 LED表示により自身の動作状態や、クリーニング時期、アラーム警告が一目で判断できます。 放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡素になりました。 フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

防爆型除電バー システム 8804

 防爆型除電バー システム 8804

充実した安全装置。 電極部絶縁材料は難燃性 VO 相当を使用。 イオンブロー方式により、大きな除電エリア、 電極一体型ブローパイプ。 豊富なモニタ表示で異常を素早くキャッチ、 除電電極は放電ユニット交換が可能。

低圧配線式 DC 式イオナイズィングバー MODEL 453S

 低圧配線式 DC 式イオナイズィングバー MODEL 453S

半導体や LCD 基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンユニットに設置する事により、静電気による塵埃の付着や放電による 製品の破壊を防止できます。コントローラー部と放電バー間に低電圧信号線を採用する事により、安全性が向上しています。

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

MODEL3080Sペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。 新機能「パルスエアー」の搭載により、更なる除塵率の向上をお届けします。

クリーンジェットガン MODEL 307R

クリーンジェットガン MODEL 307R

従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。 ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。

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