半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

マルチプレートモニター「MP-1」は、イオナイザのメンテナンス用としてご使用頂ける最新型のチャージプレートモニターです。 現在、お客様がご使用されているイオナイザの「除電時間」、「イオンバランス」を簡易的に計測することができます。 タッチパネルによるスムーズな操作により、日々のイオナイザメンテナンスが簡素化されます。 計測データはグラフによるリアルタイム表示のため、イオナイザの動作状態を一目で判断する事ができます。

マイコン制御式オートコントロールイオナイザー 超薄型、小型設計による省スペース化を実現。　装置内などの狭い場所への設置に適したコンパクト構造です。 LED表示により自身の動作状態や、クリーニング時期、アラーム警告が一目で判断できます。 放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡素になりました。 フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

これまで高い評価をいただいておりました"i Blower" MODEL 1400シリーズに、追加機能として「クリーニングアラーム機能」「安全回路機能」を搭載しました。 表面パネルに装備したLEDの点灯により放電電極の清掃周期をお知らせします。 また、放電電極からの異常放電を感知すると、電源を自動で遮断し、アラームでお知らせします。 半導体や LCD 等の精密部品組立工程や製造装置内での静電気除去を目的とした、省スペースで高性能なイオン送風器です。 イオン拡散効率の良い DC 方式と高効率ファンによる高速除電が可能です。 イオンバランスはイオンセンサーにより常時コントロールされます。

液晶パネルや半導体製造工程での 静電気対策に各種除電装置は不可欠な ものですが、思わぬトラブルや環境異常等に よる除電ミスが製品の品質、製造コストの 上昇、効率化等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所 での静電気監視、管理が行えます。

放電バー個々にイオンバランス調整機能が 付いているため、各設置場所に合わせた 調整が可能です。 また、正イオンの発生時に赤、負イオンの 発生時には緑色の LED が点灯します。 放電バーはクリーンルームの気流を乱さない 当社独自の流線型形状で、設置場所に 合わせて最長 2,500 mm までの受注生産 方式を採用しています。 放電針は従来の金属性電極に比べ 耐摩耗性、耐薬品性に優れ金属汚染の無い ポリシリコン放電針の使用が可能です。

半導体や LCD 基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンユニットに設置する事により、静電気による塵埃の付着や放電による 製品の破壊を防止できます。コントローラー部と放電バー間に低電圧信号線を採用する事により、安全性が向上しています。

MODEL3080Rペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。 新機能「パルスエアー」の搭載により、更なる除塵率の向上をお届けします。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの上面クリーニングに最適です。

USG-206 の VPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波エアーを発生することで、USG-206でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーの最高峰モデルです。

P エアーチャンバーにイオナイザーを内蔵した汎用タイプ非接触式ドライクリーナーです。 イオン化エアーを吹き付けることで、摩擦帯電の発生を抑え、異物の再付着を防止します。ノズルからの騒音低減だけでなく、ブロワーユニットの大幅な小型化により低価格化を実現しています。

USG-202 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波を発生することで、USG-202 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーです。

PV 式スリット配列の USG-201 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を製品表面より剥離可能なフラットパネル用クリーナーです。

スペーサー散布における凝集物 (クラスター) を除去します。 ヘッドの位置とエアーの流速を調整することで、境界層内の均一な粒子はそのままに、境界層をはみ出した粒子のみ除去します。