半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

手のひらサイズの小型設計により、狭い装置内等への搭載に優れています。 イオン発生方式は、高周波方式を採用しているため、イオンバランスを均一に保ち、精密な除電が可能です。 放電針の「クリーニング警報機能」、高圧異常時の「安全回路機能」を組み込んだ安全設計です。

充実した安全装置。 電極部絶縁材料は難燃性 VO 相当を使用。 イオンブロー方式により、大きな除電エリア、 電極一体型ブローパイプ。 豊富なモニタ表示で異常を素早くキャッチ、 除電電極は放電ユニット交換が可能。

USW-102 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUPさせ、より強力な超音波を発生することで、 USW-102 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたウェブ用クリーナーです。 V スリットチャンバー内も特殊エアーバランサーを入れ、幅方向のエアーバランスは、より均一化されたものになっています。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着したダストを非接触法で完全に除去します。

PV 式スリット配列の USW-101 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を剥離可能なウェブ用クリーナーです。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着した異物を非接触法で完全に除去します。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの上面クリーニングに最適です。

USG-206 の VPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。エアー圧の UP により音圧 (dB) をUP させ、より強力な超音波エアーを発生することで、USG-206でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたフラットパネル用クリーナーの最高峰モデルです。

USG-206 を上下に配置し、フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ工程、セル工程で付着した異物をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。基板サイズは小板から大板まで広く対応します。

P エアーチャンバーにイオナイザーを内蔵した汎用タイプ非接触式ドライクリーナーです。 イオン化エアーを吹き付けることで、摩擦帯電の発生を抑え、異物の再付着を防止します。ノズルからの騒音低減だけでなく、ブロワーユニットの大幅な小型化により低価格化を実現しています。

底面がフラットなフラットパネル用小型クリーナーです。 小型基板や小型の部品、12cm光ディスクなどに適しています。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。

PV 式スリット配列の USG-201 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を製品表面より剥離可能なフラットパネル用クリーナーです。

除塵対象範囲の狭い基材は、小型ウェブクリーナーをご利用ください。 フィルム端のみの除塵、電極部分、スリッター後の狭幅フィルム、シャフトのクリーニングなどに適しています。