半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

フロント内部にある 16 本の放電針の高電圧コロナ放電により空気をイオン化し、それをファンで帯電物に吹き付ける事で帯電物の静電気を中和する除電装置です。 フロントパネル前面に設置した特殊センサーがフロントパネル付近のイオンバランスを常時検知し、特性のアンバランスを検知すると自動的に装置はセンサー電圧と反対極性のイオンを瞬時に発生させ、常にバランスのとれた状態に戻す機能を持っています。

これまで高い評価をいただいておりました"i Blower" MODEL 1400シリーズに、追加機能として「クリーニングアラーム機能」「安全回路機能」を搭載しました。 表面パネルに装備したLEDの点灯により放電電極の清掃周期をお知らせします。 また、放電電極からの異常放電を感知すると、電源を自動で遮断し、アラームでお知らせします。 半導体や LCD 等の精密部品組立工程や製造装置内での静電気除去を目的とした、省スペースで高性能なイオン送風器です。 イオン拡散効率の良い DC 方式と高効率ファンによる高速除電が可能です。 イオンバランスはイオンセンサーにより常時コントロールされます。

フレキシブルＡＣ方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

簡単操作・見やすさ・使いやすさをコンセプトとして開発した送風器【ミラノ】は、イオンバランス確認やリモコン操作が、本体の前後どちらからでも可能です。 更に、従来の送風器ではカバーしきれなかった遠距離でも、今までにない急速除電が可能となりました。 独自のイオンセンサー構造がイオンバランスをマイコン制御することにより、従来のＤＣタイプに比べ、更にイオンバランスが均一となります。 【ミラノ】の風をぜひお試しください。

半導体、フラットパネル、ディスク、フィルム等、様々な製造工程において発生する静電気を正確に測定・把握することは必須となっております。 このMODEL2050デジタル式静電気測定器は、対象物の帯電量をすばやく測定表示し、それぞれの測定値を最大100個までメモリします。またオプションの使用によりイオナイザーのイオンバランスや除電時間が計測可能です。

放電バー個々にイオンバランス調整機能が 付いているため、各設置場所に合わせた 調整が可能です。 また、正イオンの発生時に赤、負イオンの 発生時には緑色の LED が点灯します。 放電バーはクリーンルームの気流を乱さない 当社独自の流線型形状で、設置場所に 合わせて最長 2,500 mm までの受注生産 方式を採用しています。 放電針は従来の金属性電極に比べ 耐摩耗性、耐薬品性に優れ金属汚染の無い ポリシリコン放電針の使用が可能です。

フラットパネルディスプレイ､ハードディスク､半導体製品等の製造工程に於いて静電気をより迅速に除去する用途に最適です。 独自の自動イオン検知方式により± 10 V 以内のイオンバランスを達成しています。

底面がフラットなフラットパネル用小型クリーナーです。 小型基板や小型の部品、12cm光ディスクなどに適しています。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。