半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

この装置は LPCVD 及び PECVD装置の排気ラインに設置し、未反応ガスをプラズマにより反応促進させ堆積、除去を行う装置です。 装置はチャンバー、電源、電極にて構成されています。 電極は洗浄再生可能で、取り外し後洗浄または、In - Situ でのクリーニングも可能です。