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「プラスチック成型品」

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

全自動EUV POD洗浄システム REN

全自動EUV POD洗浄システム REN

最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUV PODのための全自動洗浄装置です。Inner POD、Outer PODの分解/再組立はもちろん、各PODは個別の専用CHで洗浄/乾燥されます。 完全無人稼動も可能です。 ナノレベルのパーティクル除去を半導体デバイス容器洗浄装置メーカーとして30年間構築した独自の洗浄/乾燥技術で実現します。

FOUP/FOSB洗浄システム HNM-300

FOUP/FOSB洗浄システム HNM-300

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。HNM-300は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。 ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

インラインエアーガン MODEL 3100

インラインエアーガン MODEL 3100

手のひらサイズの小型設計により、狭い装置内等への搭載に優れています。 イオン発生方式は、高周波方式を採用しているため、イオンバランスを均一に保ち、精密な除電が可能です。 放電針の「クリーニング警報機能」、高圧異常時の「安全回路機能」を組み込んだ安全設計です。

DC 式イオン送風器 MODEL 1900

DC 式イオン送風器 MODEL 1900

マイコン制御式オートコントロールイオナイザー 超薄型、小型設計による省スペース化を実現。 装置内などの狭い場所への設置に適したコンパクト構造です。 LED表示により自身の動作状態や、クリーニング時期、アラーム警告が一目で判断できます。 放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡素になりました。 フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V

フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V

フレキシブルAC方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

IRISYS-SX ISX-224

IRISYS-SX ISX-224

スペースを選ばない超小型 軟 X 線照射イオナイザー。 光がガス分子を直接イオン化して除電します。

スタティックモニター (表面電位センサー) MODEL 750

 スタティックモニター (表面電位センサー) MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での 静電気対策に各種除電装置は不可欠な ものですが、思わぬトラブルや環境異常等に よる除電ミスが製品の品質、製造コストの 上昇、効率化等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所 での静電気監視、管理が行えます。

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

MODEL3080Sペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーもしくは窒素にて吹き付け、シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。 イオン発生とエアー制御スイッチは、ペン本体のグリップ部分に配置し操作性が向上しました。 新機能「パルスエアー」の搭載により、更なる除塵率の向上をお届けします。

クリーンジェットガン MODEL 307R

クリーンジェットガン MODEL 307R

従来の仕様に安全回路機能を搭載し、「MODEL 307R」としてバージョンアップしました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせ、また高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 スポットから広範囲まで、用途に合わせて最適な除電ができる汎用モデルです。 ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオンジェットにより除去します。

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

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